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1、PECVD表层的镀膜原理
在真空泵的条件中依靠微波加热或微波射频等使带有塑料薄膜构成分子的汽体水解，在部分产生等离子，而等离子有机化学活力很强，非常容易产生反映，在硅片上堆积派出所期待的塑料薄膜。为了更好地使化学变化能在较低的溫度下开展，运用了等离子的活力来推动反映，因此这类CVD称之为等离子加强化学气相沉积.
2、重要名字:
a、等离子:
等离子(plasma)又称为电浆，是由一部分电子器件被夺走后的分子及原子团被水解后形成的正空气负离子形成的离子化汽体状物质，限度超过德拜长短的宏观经济电荷平衡水解汽体，其健身运动主要是受磁场力操纵，并主要表现出明显的全部个人行为。它普遍出现于宇宙空间中，常被算作是去除固、液、气外，成分存有的第四态。等离子是一种有效的导电体，运用通过恰当设计的电磁场可以捕获、挪动和加快等离子。
b、真空泵:
真空泵的含意就是指在给出的区域内达到一个大气压强的汽体情况，是一种物理变化。在“虚无”中，响声由于沒有物质而没法传送，但无线电波的传送却不会受到真空泵的�：�。在真空设备里，真空泵系对于空气来讲，一特殊室内空间內部之部分成分被排出来，使其工作压力低于一个标准大气压，则大家统称此室内空间为真空泵或真空泵情况。真空泵常见帕斯卡（Pascal）或达兹（Torr）作为压力的单位。
表层的镀膜时,为了确保镀层的纯净度,大家必须在真空下开展反映.
3、PECVD防潮生产过程:
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